【三丰轮廓仪】日本三丰轮廓仪 三丰轮廓仪厂家 苏州瑞测
技术参数
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: {zd0} 200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 2μm/200mm
* 当X 轴在水平方向上
指示精度: ±(1+4L/200)μm,(20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
a 轴
倾斜角度: -45° 至 +10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度: 1rpm
Z2 轴(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: {zd0}200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
检测方法: 线性编码器(CV-3000CNC),
激光全息测微计 (CV-40100CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20° C 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上： 70°、向下：70°
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖 半径：25μm、硬质合金针尖
