青岛福盟微电子扩散炉--{zd0}限度满足客户需求

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青岛福盟微电子设备有限公司热处理炉

青岛福盟微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前主要产品有半导体专用设备：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立厂之根，和“以客户至上，质量{dy}，服务无止境”的立厂之本，坚持产品设计和服务质量的持续发展。福盟全体员工热忱欢迎国内外广大新老客户来我公司洽谈业务，共图发展。

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扩散/氧化系统是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。其组成有：加热炉（扩散炉主机）、净化工作台、送片系统（推拉舟系统）、气源系统、控制系统等。 1、全中文操作界面，可编辑参数，操作简便。 2、可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。 3、工艺曲线的自动运行控制功能。 4、自动运行中可暂停/继续运行功能。 5、工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。 6、智能升降温斜率控制功能。 7、PID参数自整定功能。 8、可存储多组PID参数供系统运行调用功能。 9、系统故障的检测与报警功能。 10、系统误差修正（单点或多点动态修正功能）。 11、智能悬臂推拉舟控制功能。 12、工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）。 13、停电后断点继续运行功能等等。该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。扩散炉主机主要技术指标可配工艺管外径：2-8英寸可配工艺管数量：1-4管/台工作温度范围：400-1286℃ 恒温区长度及精度：300-1000mm 800-1300℃±0.5℃ 单点温度稳定性：800-1300℃±1℃/24h {zd0}可控升温速度：15℃/min {zd0}降温速度：5℃/min

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