随着现代技术（航天技术、原子能技术、电子技术等）的迅速发展，对一些产品部件的精度要求愈来愈高，因此要求建造洁净厂房，以防止产品在生产过程中受到尘粒污染或xj污染。第二次世界大战后，美国、欧洲国家和日本都先后建成洁净厂房。中国在50年代曾建设一些无窗密闭厂房，60年代研制成{gx}过滤器、净化工作台和装配式洁净室等设备，以后在电子工业等部门建成一些洁净厂房，如常州的半导体厂。
总体布置 厂址宜选在空气自净条件好，大气含尘量低的地区,要求远离铁路、机场、码头和交通要道,避开散发大量粉尘的工厂、堆场等污染源。总体布置应按不同的净化要求分区。洁净区应处于一般生产区和污染区的上风位，并须全面规划，布置道路和绿化，以改善小区环境，有条件的宜设置水池、喷泉等。有洁净要求的工厂通常由一般生产用房、洁净厂房和辅助用房等组成。
洁净厂房一般包括四部分：洁净生产用房（通常兼有一般生产用房），空调冷冻机房，纯水和气体净化站，人员、物料净化用房。洁净生产用房的空气须经过多级净化，使每立方米空气含微尘量达到规定的等级。要求无菌生产用房的，要用紫外线mj。空调冷冻机房用于净化空气，在满足防振、防噪声要求的前提下，应靠近洁净生产用房以至毗连。纯水和气体净化站可同空调冷冻机房组合，或设置于辅助用房部分，但必须便于铺设管线，与其服务的部位紧密联系。人员必须经过净化用房换鞋更衣，再经空气淋浴等，方能进入洁净生产用房。
洁净等级 根据室内每立方米（或每升）空气中的含尘量确定。中国有关规范规定洁净度为百、千、万和十万四级,即每立方米空气中含有粒度大于或等于0.5微米的尘粒数量分别为35×100，35×1000，35×10000和35×100000粒。根据不同等级的要求选择气流组织形式。气流组织形式有垂直平行流、水平平行流和紊流等。净化要求对能源消耗、建设投资和建筑处理的复杂程度等方面都有很大差别。
厂房设计要点 洁净厂房的设计要综合考虑空气净化系统的布局、气流流型选择以及管线系统安排等因素，进行建筑物的平面和剖面设计，在满足工艺流程要求的基础上，恰当地处理洁净用房和非洁净用房以及不同洁净等级用房之间的相互关系，使洁净度要求高的较之洁净度要求低的用房处于正压状态，以增加气密性。
