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薄膜应力测量仪
薄膜应力测量仪

薄膜应力测量仪

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北京特博万德科技(Top Vendor Science&Technology Co., Ltd.)有限公司,是一家专业生产和代理、经销现代化电子材料、仪器、设备的公司,我们致力于把国内外先进的科学仪器和设备引入到国内的科学研究及工业应用领域。特博万德同时代理国外诸多zm厂商的分析测试仪器与设备,为国内广大用户提供专业化的技术咨询及售后服务。所代理的产品均代表了当今世界的{yl}水平。  
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薄膜应力测量仪--德国OEG的详细描述:
    

德国OEG公司成立于1991,设计制造gd精密的光学和半导体领域仪器设备

 

主要产品:MTF测试系统

         光学测量工作站OTS 200

         精密金刚石划片机MR200

         Flatscan晶圆平整度应力和表面曲率测量仪

         电子准直镜

         晶圆线宽和特征尺寸测量仪

         接触角/表面张力/表面自由能测量仪

更多产品信息请来电咨询。


光学非接触表面测量仪,能进行大范围的2D3D测量,可测量晶圆应力(薄膜应力),表面半径曲率和斜坡。

 TTV,Bow, Warp.

FLATSCAN:主要用于各种像硅、镜片、金属和抛光聚合物等反射表面的非接触测量,可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度,是通过测量垂直入射激光束的反射角,表面状态能通过测量点发射角的改变jq测量。

半导体行业而言,是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。

大测量的范围:测量直径{zd0}200mm

高测量精度:0.1arcsec, 100nm

选件:2D3D测量

技术参数:

平整度
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