400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱
本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。
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型号
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VOD-90
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VOD-210
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VOD-216
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真空度
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≤10 pa
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电源
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AC380V 3φ 50HZ
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功率（KW）
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12
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18
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20
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工作环境温度
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性能
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温度范围
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RT+10℃～450℃
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升温时间
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2 ℃/minute～4 ℃/minute
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降温时间
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2 ℃/minute～4 ℃/minute
(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)
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结构
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外壳
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冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤
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内胆
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5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光
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保温材料
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厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好
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箱门
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真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)
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真空泵
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LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);
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加热系统
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四面辐射加热
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电器系统
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系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停；
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温控输出
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SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器
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安全保护
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加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、
缺相保护、电炉超温报警等功能
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内容积（L））
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91
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215
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252
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内部尺寸（㎜）
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W450×D450×H450
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W560×D640×H600
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W700×D600×H600
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外部尺寸（㎜）
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W800×D800×H1715
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W910×D990×H1865
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W1050×D950×H1865
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400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱
