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供应青岛福润德牌frd-012微控四管扩散炉

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青岛福润德微电子设备有限公司

青岛福润德微电子设备有限公司目前的主要产品有太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。福润德全体员工热忱欢迎国内外广大新老客户来我公司洽谈业务，共图发展。

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本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。送片系统采用丝杠、导轨副及SiC桨悬臂式推拉舟结构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。温控部分选用带有自整定PID调节系统、0.1级精度以及具有多项保护功能的进口gd温控仪，因而控温精度高，温度稳定性好，升、降温响应速度快，同时可与计算机通讯实现升降温速率自动控制。气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。整机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。 1.2主要用途及适用范围本设备主要用于8英寸硅片以下太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。

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