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干洁大气由多种气体混合组成[1] 。

（1） 按浓度分：

按照各成分在大气中的浓度，可分为主要成分、微量成分和痕量成分（次要成分）。

1）主要成分：N2、O2、Ar、CO2等，其容积含量占全部干洁空气的 99.99% 以上。

2）微量成分：浓度在1~20 ppmv，如CH4等

3）痕量成分：浓度在1 ppmv以下，重要的bao括O3、H2、氮氧化合物、硫化物及人为污染物fu氯化烃类化合物等。

产品说明

氩气是无色、无味、单原子的惰性气体，原子量为39．948，密度为 1．78kg／m3（空气密度为 1．29kg／m 3）。氩气的重量是空气的1．4倍，可在熔池上方形成一层稳定的气流层，具有良好的保护性能。氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP，气相色谱仪等仪器的载气，标准气、平衡气、零点气等。

国家标准工业氦气GB/T 4844.1—1995

产品

名称

执行标准

技术标准

纯度

（V/V）≥

氖含量

ppm ≤

氢含量

ppm ≤

氧（氩）含量

ppm ≤

氮含量

ppm ≤

CO+CO 2 +CH 4

ppm ≤

水份含量

ppm ≤

高纯氦

GB/T5829-95

99.999

2

0．5

1

1

0．4

2[1]