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TV81M 涡轮分子泵,转速可以到75000rpm
VARIAN TV81-T
转子叶片一次加工完成,不仅自重轻,而且大大减小了叶片内的应力。
因此机械强度高,转子寿命长
VARIAN TV81
涡轮分子泵有超高真空低能耗,气体输送能力强,循环时间短使用时间长的优点。
在分子泵刚刚开始工作的阶段,由于有大量的气体由进气口被抽到排气口,
所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大,而随着进气口压力的下降,
分子泵抽下来的气体量在减少,这时,气体返流对抽速的影响也就大起来了。