影响因素编辑影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少{zd1}；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。洁净室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：⑴天花板系统：bao括吊杆（Ceiling rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。⑵空调系统：bao括空气舱、过滤器系统、风车等。⑶隔墙板（Partitional wall）：bao括窗户、门。⑷地板：bao括高架地板或防静电舒美地板。⑸照明器具：bao括日光灯、黄色灯管等。洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：●不会因温度变化与振动而发生裂痕；●不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；●吸湿性小；●为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。
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洁净室的监测洁净室需要控管的项目bao括温度、湿度、静压差、风速、微粒、浮游菌、沉降菌，当然在设计之初还有噪音、光照度、安全、节能等方面的虑。对于使用者来说使用过程中学会日常监测非常重要，这是保证教学科研工作的前提之一，也有利于在出现异常数据时排查原因。 温度、湿度、静压差、风速是预测试指标，只有这些指标都在规定范围内，后续3个主测试指标的监测才有意义。温湿度要求使用者可以自己把握，如无特殊要求时，温度在18～26℃，相对湿度在45%～65%为宜。洁净室与非洁净室之间的静压差应>10 Pa；相邻不同洁净级别的洁净室之间的压差应>0.5 Pa；洁净区与室外压差应>12 Pa。单向流净室实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过15%。以上测试可以通过温湿度仪、微压计、风速仪来完成。
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减少洁净空间体积的实用技术之一是建立洁净隧道或隧道式洁净室，其可以满足生产对高洁净度环境和节能的双重要求，使洁净工艺区空间缩小到{zd1}限度，风量大大减少。另外，还可采用洁净隧道层流罩装置，以抵抗洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。在同样的总风量下，可以扩大罩前洁净截面积5~6倍。同时，还可通过洁净小室、洁净工作台、自净器、微环境等形式，如带层流装置的称量工作台以及带层流装置的灌封机等，实行局部气流保护，以维持该区域的高洁净级别要求，且减少洁净空间体积。
