烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺, 所以对其的洁净度要求比较高, 同时用于膜的固化 等工艺, 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多, 用途也是多元化的, 从价格角度虑, 则把国内生产的烘箱放在首 位, 因为不论是售后fu务还是备件购买都会相对容易一些, 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
烘箱是利用电热丝隔层加热使物体干燥的设备。其使用及注意事项总结如下:
7.有鼓风的烘箱,在加热和恒温的过程中必须将鼓风机开启,否则影响工作室温度的均匀性和损坏加热元件。
8.工作完毕后应及时切断电源,确保安全。
9.烘箱内外要保持干净。
10.使用时,温度不要超过烘箱的zui高使用温度。
11.为防止ts,取放试品时要用专门工具。
真空烘箱使用流程
1、将物料均匀放入真空烘箱附带的烘箱内,将烘盘插入烘架车中,推入干燥箱内。 2、如果采用蒸气加热或水加热的方式,则需用快接将专用烘架车(上下口)的两个加热口,与水或蒸气的所口接好。 3、关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合。 4、将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空。 5、依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准。 6、抽完真空后,先将真空阀门关闭,如果真空阀门关不紧,请更换,然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生) 7、本所物料的干燥周期,每隔一段时间观察一下,历力表,温度表,和箱体内的变化,来处理。如果压力表指数下降,则可能存在漏气现象,可再进行抽气操作。 8、干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开烘门,取出物料