• 总重约 150千克
• 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH
• 12" 卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制,中心吸附孔最小可以选择250微米
• 卡盘平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转
• 卡盘X/Y轴无间隙移动,大手柄旋转控制,行程:12英寸X 12英寸,移动精度:1um,并带锁死装置
• 可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1微米(系统不包含显微镜)
• 可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能
• 平台快速升降行程 6mm并带自动锁定功能
• 平台上下微调行程25mm,升降精度1um
• 平台可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位
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