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产品尺寸范围
3-7寸
最小缺陷尺寸
0.08mm
搬送精度
X±0.02mm Y±0.02mm
适用产品
LCM+CG 、Cell、Open Cell
节拍
3.5S
电压/功率
AC220V / 50HZ /10KVA
漏检率
≤1%
过检率
≤5%
空气源压力
0.5-0.7kgf/cm
洁净度
0.5um