AU-80表面有机物颗粒检测机
相对于一般无尘室内广泛被使用之手持particlecounter 或是落尘监控设备只能检查出环境落尘品质而不能检测出particle落尘何处的缺点,透过ASYS AU-80表面有机物颗粒检测机之照射而产生的反差效果,能很轻易的发觉生产设备上的particle的落点处透过无尘布等的擦拭
对cgmp各药厂
洗涤转盘区﹨胶塞材料﹨无尘衣﹨手套及相关设备机台等有显着效果
对电子相关
曝光机﹨显影机﹨蚀刻﹨黄光及偏光板贴附机台效果最为显着
对于制成机台或parts
cleaner机台
有机物质﹨油渍﹨水渍﹨带静电particle﹨毛屑﹨纤维﹨胶类物质之parti cle皆可观察