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真空箱真空泵,是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要设备。
旋片式真空泵的极限真空为6X10 -2 Pa抽气量为30L/S,用于抽除密封容积中的干燥气体
或含有少量可凝性蒸汽的气体,用于后者时,需要使用该泵的气镇装置。可以用作罗茨泵的前级泵,
适合于中小型的真空冶炼、真空焊接、真空处理、冷冻干燥、电子管、以及半导体器件、太阳能,电池板、电子束加工、
电子显微镜等现代工业技术方面。缺点:旋片式真空泵只能在环境温度5~40°范围内,此种泵对
于抽除含氧过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的以及含有颗粒灰尘的气
体是不适合的;把气体从一个容器输送到另一个容器作输送泵使用也是不适用的。