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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
真空泵性能参数：
| 参数名称 | 参数定义 |
|---|---|
| 真空泵的极限压强 | 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的{zd1}压强。 |
| 真空泵的抽气速率 | 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 |
| 真空泵的抽气量 | 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 |
| 真空泵的起动压强 | 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 |
| 真空泵的前级压强 | 真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 |
| 真空泵的{zd0}前级压强 | 真空泵口{zd0}前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 |
| 真空泵的{zd0}工作压强 | 真空泵的{zd0}工作压强单位是Pa，它是指对应{zd0}抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 |
| 真空泵的压缩比 | 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 |
| 真空泵的何氏系数 | 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 |
| 真空泵的抽速系数 | 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 |
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 |
| 水蒸气允许量 | 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 |
| {zd0}允许水蒸气入口压强 | {zd0}允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的{zg}入口压强。 |