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真空机组应安装在平整坚实基础上，保证设备的务重强度。开机前水箱灌满水，打开水泵进水阀门。水泵严禁脱水空转及反转，以防损坏水源。真空机组应先启动水源，水喷射真空开始工作，然后打开蒸汽开关，蒸汽泵开始工作。罗茨—水喷射机组应先启动水源，水喷射真空开始工作，真空度到-0.092Mpa时，才能启动罗茨真空泵，低于真空-0.092Mpa，应立即停止罗茨真空泵工作，建议安装设备控制电器开关，便于操作。
使用时循环水箱应经常补充冷却水更换循环水，降低工作水温，严防循环水中有颗粒杂物。真空机组停机时应先关闭蒸汽阀门，停止罗茨真空泵，打开真空罐上放空阀门，降低真空度。然后停止工作。否则产生倒吸及损坏设备。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。
真空机组开关机需要注意哪些事项？因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超强的抽气能力。
这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。
