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1、继电器不断开
1)负载电流大于SSR的额定切换电流，这样会使继电器短路，此时应使用额定电流较大的SSR。
2)在继电器所处的环境温度下，对于所承受的电流来说如散热不良，会损坏输出半导体器件，此时应使用较大的或更有效的散热片。
3)线电压瞬变引起SSR输出部分穿通，此时应使用额定电压较高的SSR或提供额外的瞬态保护电路。
4)使用的线电压高于SSR的额定电压。
2、切断输入后SSR才断开
在SSR应该断开的时候，测量输入电压，如果测得的电压低于必须释放电压，表明断电器的释放电压太低，应更换继电器如果测得的电压高于SSR的必须释放电压，则是SSR输入端前面的线路有问题，必须改正。
3、继电器不导通
1)在继电器应该导通时，测量输入电压，如果该电压低于必须动作电压，表明SSR输入端前面的线路有问题;如果输入电压高于必须动作电压，查对电源极性并在必要时加以更正。
2)测量SSR的输入电流，如无电流，则系SSR开路，该继电器有故障;如果有电流，但低于继电器的动作值，是SSR前面的线路有问题，必须改正。
3)检查SSR的输入部分，测量SSR输出两端的电压，如果电压低于1V，表明继电器以外的线路或负载开路并应进行修理;如果存在线电压，则可能是负载短路，使电流过大引起继电器失效。
4、继电器工作不规则
1)检查所有接线是否正确、连接不牢或不正确产生的故障。
2)检查输入和输出的引线是否在一起。
3)对于非常灵敏的SSR，噪声也能耦合到输入端而引起不规则导通。
5、交流电动机或螺线管负载造成颤动
由于交变的dv/dt问题，SSR可以有半周波动，此时，采用缓冲器是有帮助的。