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建筑物的外部环境一大气污染的性质和水平，其中包括季节性的变化;对微电子工业具有决定意义的振动状况。
应考虑到邻近区域的远景发展和洁净室使用后可能造成的后果。
高换气次数和费用巨大的通风空调系统主宰着洁净室的建造费用、因此，凡是在可能之处，采用空气循环，重复利用能源，局部空气清洁装置就起着重要的作用。
工艺设备的布置应做到，只有需要洁净室内工作人员操纵的控制面板进入高洁净度工作区，而产品进、出部位也在高洁净度工作区。
选择和建立与一定洁净度级别洁净室的要求相符合的工艺设备和工程系统。
确定平面布置时应计及人员，材料成品等人流物流的分开，不同洁净度级别房间和区域划分。
要符合保证安全的要求，例如，消防用自动喷水灭火装置的假合闸会导致产生比真正火灾还大的损失。紧急疏散出口的布置具有自身的特点，它与人员和材料的吹淋室不同，应由洁净室直通非列级区并应密闭的。
人员和物料在进入洁净室之前需经特殊处理。为此应有附加面积，有时还要有很大的非生产面积，如更衣室，物料吹淋室、消毒灭菌室等。在作工时计算时应考虑人员进、出洁净室所需的时间。
设置洁净室进入系统。
洁净室对人为错误的易受损害性不理解或不愿意搞好个人卫生，不注意行为举止，在本节内作者并不想对整个送风空调系统的一般问题和设计程序作介绍，而是想重点阐明与洁净室有关的专业性问题。
通风空调系统在洁净工作台中起着关键作用。可是，在已完成的系统设计中却也出现了许多错误，通风空调系统不仅影响着平面布置方案，并且还决定着系统的功能是否与设计的生产相符合。