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超{gx}过滤器：
n 材质说明：
² 制作类型：无隔板超{gx}过滤器、有隔板超{gx}过滤器、组合式大风量超过{gx}过滤器、耐高温超{gx}过滤器等；
² 滤 料：U15-U17美国HV玻纤滤纸；
² 过滤效率：U15-U17，U15：99.9995%@0.12μm、U16:99.99995%@0.12μm、U17:99.999995%@0.12μm（MPPS）；
² 框 材：铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框；
² 护网材质：喷塑菱形网；
² 密封胶条：EVA、氯丁橡胶；
² 过滤尺寸：依据客户实际要求制定，铝型材参考厚度：46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm（MMPS）;
n 适用场合：
适用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。
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型号
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箱体外形尺寸
(W×H×D)
(mm)
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额定风量
(m3/h)
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过滤面积(m2)
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容尘量
(g)
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初阻力
(Pa)
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终阻力
（Pa）
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过滤效率0.12μm
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KYAIR-MHF-001
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484×484×50
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350
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4.28
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250
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≤150
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400
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≥99.9995%
U15-U17
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KYAIR-MHF-002
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610×610×50
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600
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6.84
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410
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-003
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915×610×50
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900
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10.29
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600
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-004
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1220×610×50
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1200
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13.74
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800
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-005
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484×484×69
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600
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6.58
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400
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-006
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610×610×69
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1000
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10.48
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600
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-007
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915×610×69
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1400
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15.78
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950
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-008
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1220×610×69
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1800
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21.08
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1250
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-009
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610×610×96
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1600
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17.88
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1050
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-010
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915×610×96
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2400
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26.99
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1600
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≤150
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400
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KYAIR-MHF-011
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1220×610×96
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3200
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36.12
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2100
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≤150
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400
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