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干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，排气温度低，工艺稳定，适用于各种领域的真空工艺，也维持了{zj0}的真空效率和耐用性。
介质不经过油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥、溶剂回收、化工、制药、塑料等各种真空工艺。
VPS干式螺杆真空泵特征
1) 工作腔内无水无油，通过转子转动产生清洁真空。
2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
3) 通过特殊涂层处理，可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式为机械或双唇密封。
6) 简便的设计易于设备维护。
7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触，使用寿命长。
8) 气体通过泵体可迅速排出。
9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
10) 较低的转速可降低振动及噪音。
干式螺杆泵的应用范围：
在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀（PECVD）和反映离子刻蚀（RIE）工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆（PLASMA）的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
制药行业，用于yw的真空干燥，yw中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。
化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺
工业排气；集中式真空处理系统
挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于xc水污染，及喷射器中的阻塞物。
涉及无忧污水真空处理的所有应用
食品行业用于香料，香精浓度，食品包装等。
韩国VPS中型干式螺杆真空泵参数表
|
型 号 |
VPS-P150 |
VPS-P300 |
VPS-P400 |
VPS-P800 |
||
|
抽 速 |
M3/h |
120/150 |
250/300 |
330/400 |
680/800 |
|
|
CFM |
70.6/88.3 |
147.1/176.5 |
194.2/235.4 |
400.2/470.8 |
||
|
极限 |
(Torr) |
0.3/0.5 |
0.2/0.1 |
0.04/0.03 |
0.03/0.02 |
|
|
(Pa) |
40/20 |
26.7/13.3 |
5.3/4.0 |
4.0/2.7 |
||
|
电机功率(Kw,50/60Hz) |
5.5 |
7.5/11 |
11/15 |
18.5/22 |
||
|
泵转速(RPM) 50/60Hz |
2900/3450 |
2900/3450 |
2900/3450 |
2900/3450 |
||
|
口径 |
入口(A) |
40 |
50 |
65 |
100 |
|
|
出口(B) |
40 |
40 |
50 |
65 |
||
|
齿轮油(L) |
1.3 |
1.6 |
2 |
4 |
||
|
冷却水(L/min) |
3 |
5 |
7 |
10 |
||
|
重量(Kg,泵体) |
220 |
320 |
410 |
630 |
||
