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专业供应青岛福润德牌frd-006扩散炉专用炉体

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青岛福润德微电子设备有限公司

青岛福润德微电子设备有限公司目前的主要产品有太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。福润德全体员工热忱欢迎国内外广大新老客户来我公司洽谈业务，共图发展。

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可wq代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。
设备特点：
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿
技术指标：
可配置工艺管外径2～8英寸

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