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柱弧离子镀膜机

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广东振华科技股份有限公司广东振华科技股份有限公司是一家专业研发、制造各类真空应用设备的高科技企业。主要产品有各种蒸发/磁控溅射镀膜机，电子束光学镀膜机，多弧离子镀膜机，蒸发送丝卷绕镀膜机，磁控溅射卷绕镀膜机，磁控溅射幕墙玻璃镀膜生产线，磁控溅射双银Low-E玻璃镀膜生产线，非晶硅单晶硅多晶硅太阳能镀膜生产线以及CIGS太阳能镀膜生产线等，广泛应用于电子、光学、轻工、冶金、食品、建材、陶瓷、塑料等行业。产品cxgnw，得到客户的好评。广东振华科技有限公司李伟

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柱弧离子镀膜机

利用我公司生产的柱弧离子镀膜机，在不同硬度基体上制备了Ti／TiN／Ti(N，C)／TiC多层复合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值为3，小于43，沉积速率约为0.78 um/h，表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影 响较大，基体越硬、膜层越厚，膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0.82um的黑色硬质膜 显微硬度日v(25。)=3229，结合力为26.70 N。

传统的的多弧离子镀工艺镀制TiC黑色硬质膜，工艺范围宽，但颜色不深，满足不了gd装饰镀膜的市场需要。我公司生产的柱弧离子镀膜机的弧源是细长圆柱结构，利用一个柱弧源就可以在比较大的范围内进行均匀镀膜。通过合适的磁场控制，柱弧源还可以在比较小的弧流下稳定工作。柱弧离子镀膜机的这些特点为稳定镀制富C的TiC深黑色硬质膜提供了可能。利用柱弧离子镀膜机镀制多层膜结构的深黑色硬质膜，具有工艺范围宽、颜色深等诸多优点，已成功应用于工业产品的生产。

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