单向流（10—100级）洁净室
10—100级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任一点，气流方向和速度均保持一致，这样可以使洁净室气流像“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。要实现“活塞”的效果，高1效过滤器需要满足屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非单向流（1000—30万级）洁净室
1000—30万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现室内空气的净化。不同净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
洁净度100级 cleanliness class 100
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。
洁净度1000级 cleanliness class 1000
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地，起到传导和静电耗散的作用，xcESD积累。
由于所有这些原因，洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而，很多设备经理或工具安装人员，在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子，人们要进入地板下面的空间时，就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块；然后，在把地板块放回原处的时候，通常地板块无法wq复原，不得不用脚用力在上面跺。而且，在使用工具翻开地板块的时候，经常会损坏它们。
