洁净室换气次数估算：
千级洁净室不小于50次/h；万级洁净室不小于25次/h；十万级洁净室不小于15次/h。万级换气次数[1] ≥25次/小时（一般取27-28）；十万级换气次数≥15次/小时（一般17-18）但是不能盲目按照换气次数进行设计风量，要考虑房间及工艺余热、余湿。
生物洁净室（ biologicalcleanroom）即洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。（医院手术室属于生物洁净室）
铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。
使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。
半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施最为有效。
自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
