全自动ITO检测机,备主要用于检测TFT-CELL及Module裸露电极区域线路异常(因制程和操作不当导致的划伤,从而引起的线路open或short等缺陷)和线路微划伤(ITO未划透,暂时可以通电),检测系统需采用微分干涉成像技术或其它可以识别线路微划伤(ITO未划透,暂时可以通电)的成像技术,并采用先进算法判定出缺陷,主要包括自动上料,产品搬送单元、AOI检测单元,自动下料单元等。
产品尺寸范围
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3-17寸
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最小缺陷尺寸
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0.002mm
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搬送精度
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X±0.02mm Y±0.02mm
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适用产品
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TFT-CELL及Module裸露电极
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节拍
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6-12S
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电压/功率
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AC220V / 50HZ /10KVA
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漏检率
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≤1%
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过检率
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≤5%
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空气源压力
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0.5-0.7kgf/cm
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洁净度
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0.5um
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