日本UNION EMA-400 桌面面罩对准器

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EMA-400

桌面面罩对准器

特点
*经济、紧凑和高级性能
* 在视野中查看两个对准标记的融合图像。
* 用于曝光的积分器镜头。
* LED illuminator
APPLICATION
(Micromachine development in R&D center and university)
*Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
* Exposure for Flip Chip/BGA/CSP。
* 光/高速通信组件的曝光。

对齐范围
目标分离	15 至 75 毫米
总放大率	100X
观察用照明器	绿色 LED (λ=540nm)
X, Y 载物台移动范围	±5 毫米
θ调整	±5°
效用
主体和水银灯电源	交流 100V 50/60Hz 15A
真空源	低于 21.3 Kpa（-80 Kpa 从大气压）
压力源	大于 0.2MPa（N² 气体或干燥清洁空气）
曝光单元
镜片	积分透镜
水银灯	250W超高压蒸气汞灯
有效曝光面积	φ100 mm
强度分布	±5% 或更少
照明强度	20 毫瓦/平方厘米（405 纳米）
曝光时间控制	数字定时器和旋转螺线管
汞灯照明单元	交流 100V

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