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科研KT-Z1605CVD 金属铜靶材蒸镀仪 小型蒸镀仪
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15515545802
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郑州科创实验仪器设备有限公司
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郑州高新技术开发区西三环283号大学科技园
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郑州科创实验仪器设备有限公司

郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室  及*校,科探仪器已经成为老师  同学欢迎和信任的品牌之一               公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师  同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。             目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:8转/分钟;
- 热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;

-        衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

-        保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;



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