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同轴电极真空炉感应圈:用yz矩形铜管,采用双管并绕结构,冷却循环水分配合理,冷却效果好;感应圈每匝之间经过耐高压绝缘处理,确保在真空状态下,不打火放电。紧固感应圈的铜螺帽沉入胶木柱内,xc了螺母尖棱在真空状态下的打火放电。采用同轴电极与感应圈相接的结构,可使真空炉体与同轴电极连接部位密封结构简化,能够提高密封的可靠性、安全性与真空度。采用同轴电极可以节能。该产品现已广泛应用于真空多晶硅提纯设备上。