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VS-6556{zd0}运动半径为650mm,{zd0}可搬质量5Kg,标准往复时间0.4秒(负载1Kg时),重复定位精度±0.02mm,VS-6577{zd0}运动半径为850mm,{zd0}可搬质量5Kg,标准往复时间0.5秒(负载1Kg时),重复定位精度±0.03mm。全系列均配有无尘室专用及防尘防水式样。