苏州工业园区崛起MEMS产业高地

汽车轮胎气压不足时，仪表盘的预警灯会亮；汽油不够时，也会发出警示音；万一发生剧烈碰撞，安全气囊会及时弹出……这些都是平时生活中时常碰到的事情，而汽车之所以会及时发出预警，依赖于遍布车体的传感器，即微机电系统（MEMS）。

这个由英文字母缩写组成的名字虽然陌生，但是几乎每个人每天都会接触。比如一个iPhone手机平均需要10多个传感器，包括重力传感器、光学传感器等，手机越智能对传感器的要求越高需求越大。此外，传感器也是物联网、智慧医疗等新兴产业必不可少的核心元器件。

MEMS产业作为纳米技术应用产业的重要领域，近几年随着智能手机、平板电脑、可穿戴设备等智能设备的发展，迎来了空前的爆发式增长。有关机构预测，在未来5年，MEMS市场将保持两位数的增长速度，预计到2017年全球MEMS感测器市场规模可达210亿美元。

“智慧终端、物联网、智慧医疗将成为未来MEMS应用的重大领域，市场的需求将推动MEMS产品市场规模迅速扩大。”国家“863”计划微纳制造技术主题专家组组长、东南大学MEMS教育部重点实验室主任黄庆安教授说。

近几年，苏州工业园区通过发挥已有产业的先天优势，正成为国内MEMS创新与产业化最具吸引力和竞争力的区域。这里集聚了40多家MEMS领域优质企业，包括上市封装领域的龙头企业晶方半导体、打破国际垄断推出3轴加速度计的明皜科技、国内高性能微硅麦克风制造企业敏芯微电子等，构建了较为完整的MEMS产业链。

“苏州工业园区将纳米技术应用产业确定为区域战略性新兴产业，也一直积极布局和推动其分支MEMS产业，这在国内都是不多见的。”苏州工业园区管委会主任杨知评说。MEMS是苏州园区的优势产业领域，也是苏州纳米城聚焦推动的重点领域，MEMS专利数量占全国的2%，2014年产业产值约15亿元。

为加速提升MEMS产业工程化能力，苏州园区从2011年起在纳米城筹建国内首条市场化、全开放的MEMS中试平台，聚焦MEMS压力传感器、温度传感器、硅麦克风、加速度计、陀螺仪、红外夜视仪、射频MEMS等产品。

去年9月，国内第一条市场化运作的、全开放服务的6英寸MEMS中试平台终于建成，可开展微纳机电共性技术和标准工艺的研发，提供中试加工、检测分析、设备租赁和代工技术转移等服务。

苏州园区MEMS产业的发展，也吸引了各方的关注。去年11月底，中国半导体行业协会微机电系统（MEMS）分会在园区正式成立，中国电子科技集团公司第十三研究所当选理事长单位，苏州纳米科技发展有限公司等10家单位当选副理事长单位。首批会员覆盖北京、上海、江苏、浙江、广东等11个省市的102多家企业和科研机构。

它作为全国唯一的权威MEMS协会，将立足园区，辐射全国，把昔日MEMS企业单枪匹马找市场转变为“抱团出击”。分会将从政策咨询、信息交流、业务指导、产业研究、产业投资、市场开拓、人员培训、专利导航等方面为会员提供全方位服务，完善产业链的整合，加速我国在MEMS产业领域的人才吸引、技术创新、成果产业化。

MEMS分会副理事长、苏州纳米科技发展有限公司总裁张希军透露，分会将密切与苏州、无锡、上海、北京等市场化、全开放的MEMS中试平台合作，满足MEMS相关中小企业工艺研发和小批量生产的需求。

与此同时，为解决全国MEMS产业专业人才匮乏、急需产业人才职业技能认证的问题，苏州纳米城正在工信部职业技能鉴定指导中心的支援下，筹建国内首个MEMS方向职业技能鉴定站，今后将为MEMS分会企业发展提供专业人才鉴定服务。

来源：MEMS

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