洁净度级别
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洁净度级别
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尘粒{zd0}允许数
≥0.5μm（个/m3）
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微生物{zd0}允许数
≥5μm（个/m3）
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浮游菌（个/m3）
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沉降菌（个/m3）
（cfu/cm2）
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100级
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3500
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0
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5
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1
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1000级
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35000
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300
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万级
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35万
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2000
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100
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3
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10万级
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350万
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2万
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500
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10
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30万级
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1050万
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6万
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1000
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15
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可将万级洁净室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室{zd0}尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。
万级洁净室的洁净标准
洁净度等级尘粒{zd0}允许数/pc.m3换气次数/h气流流型
≥0.5μm≥5μm
100 0003 500 00020 00010~15非单向流
洁净度等级尘粒{zd0}允许数/pc.m3换气次数/h气流流型
≥0.5μm≥5μm
100 0003 500 00020 00010~15非单向流
1.尘粒{zd0}允许数（每立方米）；
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大或等于5微米的粒子数不得超过20000个；
3.微生物{zd0}允许数；
4.浮游菌数不得超过500个每立方米；
5.沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波动±2℃。
冬季洁净室湿度控制在30－50％，夏季洁净室湿度控制在50－70％。
配电：洁净室（区）的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
噪声控制：
一、动态测试时，万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、静态测试时，万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
气流组织：
十万级洁净室主要采用的送风方式：
1、局部孔板顶棚送风 ；
2、带扩散板{gx}空气过滤器顶棚送风；
3.上侧墙送风 等三种送风方式。
十万级洁净室主要采用的回风方式：
1、单侧墙下部布置回风口；
2、当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口 。
送风口风速米／秒）：
1.孔板孔口3～5；
2、侧送风口：
⑴贴附射流2～5 ；
⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5～2.5，对侧墙下部回凤1.0～1.5 。
回风口风速（米／秒）：
1、洁净室回风口不大于2；
2、走廊内回风口不大于4。
