上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200

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伯东企业（上海）有限公司

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界{yl}的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有wq的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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KRI 霍尔 eH 200
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔 eH200 是霍尔型 eH 系列中尺寸最小, 低成本设计离子源. 霍尔 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔 eH200 操作简单是理想的生产工具.
KRI 霍尔 eH 200 技术参数：

型号	eH 200
供电	DC magnetic confinement
- 电压	40-300V VDC
- 离子源直径	~ 2 cm
- 阳极结构	模块化
电源控制	eHx-3005A
配置	-
- 阴极中和器	Filament or Hollow Cathode
- 离子束发散角度	> 45° (hwhm)
- 阳极	标准或 Grooved
- 水冷	无
- 底座	移动或快接法兰
- 高度	2.0'
- 直径	2.5'
-加工材料	金属电介质半导体
-工艺气体	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安装距离	6-24”
- 自动控制	控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架; Filamentless; Sidewinder
KRI 霍尔 eH 200 应用领域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, SM
直接沉积 DD

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958

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