长寿命严厉过程 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程 71000 系列是专为***的真空环境而设计. HVA 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, *大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.
HVA 长寿命严厉过程 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
*大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 长寿命严厉过程 71000 系列参数:
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阀门材质:
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- 阀门主体
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304 不锈钢
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- 焊接波纹管轴封
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AM - 350
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阀门密封方式
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- 高真空
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氟橡胶
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真空:
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- 压力范围
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高真空 1x10-9 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差压关闭
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2 bar (任意位置)
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- 开启前*大压力
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≤ 1 bar
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烘烤温度（不含电磁阀）:
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- 佛橡胶密封
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150 °c, 可选配置*大 250 °c
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- 驱动方式
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手动 60 °c, 气动 60 °c
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- 气体
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80 psig (5.5 bar)
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- 电磁
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4.0 Watts
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- 供电
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120 VAC 50 /60 Hz
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- 可选电压
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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- 位置指示器,*大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
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公称通径: DN 50 - 200 mm
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HVA 长寿命严厉过程 71000 系列部件图:
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