高真空插板阀 11000 系列
上海伯东美国 HVA 不锈钢 真空插板阀 11000 系列, 手动,气动可选, 满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA 与, perfect联用.
HVA 不锈钢高 真空插板阀 11000 系列产品特点
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm, 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
常规 200°c *高 250 °c
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 高 超真空插板阀 11000 系列技术参数
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阀门材质:
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- 阀门主体
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304 不锈钢
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- 焊接波纹管轴封
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AM - 350
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阀门密封方式
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- 高真空
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氟橡胶
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- 超高真空
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铜垫圈 / 氟橡胶
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真空:
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- 压力范围
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高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差压关闭
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1 bar ( 任意位置 )
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- 开启前*大压力
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≤ 30 mbar
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烘烤温度（不含电磁阀）:
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- 佛橡胶密封
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150 °c, 可选配置*大 250 °c
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- 铜垫圈密封
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阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c
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- 驱动方式
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手动 60 °c, 气动 60 °c
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- 气体
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80 psig (5.5 bar)
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- 电磁
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4.0 Watts
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- 供电
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120 VAC 50 /60 Hz
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- 可选电压
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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- 位置指示器,*大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
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接口: DN 16 - 800 mm
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美国 HVA 11000 系列高有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸（可选择的) , 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列独特的气缸设计保证*低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢提供了业界*小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的*大完整性,效delete了虚漏和缺陷部分, 阀体变形. 阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用. 美国 HVA 11000 系列可任意位置安装.
HVA 真空插板阀应用案例一
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 11000 系列并搭配 Pfeiffer 和 成功分析生长晶体表面结构.
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HVA 真空插板阀应用案例二
美国 HVA 在半导体管道中的应用
半导体管道应用示意图 现场图
HVA 不锈钢 11000 系列组成:
美国 HVA -美国*大制造商. 美国 HVA 原装, 超过50年的高真空和超高设计与制造. 主营高, 广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国 HVA 在中国地区only指定总代理商。
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