HiPace 80
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证的安全性. HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.
HiPace 80 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
HiPace 80 技术参数
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进气口
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DN 63
ISO-K
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DN 63
CF-F
|
DN 40
ISO-KF
|
DN 63
ISO-K
|
DN 63
CF-F
|
DN 40
ISO-KF
|
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图片
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分子泵控制器
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型号
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标配
TC 110
|
标配
TC 110
|
标配
TC 110
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选配
TCP 350
|
选配
TCP 350
|
选配
TCP 350
|
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抽速
|
Ar L/S
|
66
|
66
|
30
|
66
|
66
|
30
|
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H2 L/S
|
48
|
48
|
38
|
48
|
48
|
38
|
|
He L/S
|
58
|
58
|
41
|
58
|
58
|
41
|
|
N2 L/S
|
67
|
67
|
35
|
67
|
67
|
35
|
|
压缩比
|
Ar
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
H2
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
|
He
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
|
N2
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
全转速时气体流量
|
Ar hPa l/s
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
|
H2 hPa l/s
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
|
He hPa l/s
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
|
N2 hPa l/s
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|
极限压力
|
hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
|
＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
|
最 大预抽真空
|
N2
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
|
电压
± 5 %
|
VDC
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
|
最 大电流
|
A
|
4.6
|
4.6
|
4.6
|
5.5
|
4.6
|
4.6
|
|
转速± 2 %
|
RPM
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
|
声噪
|
dB(A)
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
|
允许最 大磁场
|
mT
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
|
启动时间
|
min
|
1.7
|
1.7
|
1.7
|
3
|
3
|
3
|
|
重量
|
kg
|
2.4
|
3.8
|
2.4
|
2.1
|
3.5
|
2.1
|
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
Pfeiffer HiPace 80 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
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分子泵
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分子泵电源与控制器连接线
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风扇
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OmniControl 200
|
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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|
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|
|
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
|
HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
上海伯东客户二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
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上海伯东客户三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体
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HiPace 80 目前在售型号：
其他推荐
上海伯东 Pfeiffer 抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 运行时间可以达到 100,000 小时! 提供复合轴承和五轴全磁浮二大系列满足不同应用, 推荐搭配 和共同使用.
