HiPace 2800 IT
上海伯东德国 Pfeiffer 适用于离子注入系统的 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款精巧的转子设计保证小分子气体的更大抽速, 确保了针对离子注入工艺的适应性, HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.
HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.
HiPace® 2800 IT 产品优势
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长
HiPace® 2800 IT 技术参数
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法兰（进气端）
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DN 250 ISO-F
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法兰（出气端）
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DN 40 ISO-KF
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排气连接
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G 1/8“
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氮气抽速
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2,300 l/s
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氩气抽速
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2,100 l/s
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氦气抽速
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2,900 l/s
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氢气抽速
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2,600 l/s
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转速
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±2 % 27,300 rpm
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运行时间
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8.6 min
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在全转速情况下的氮气气流量
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16 hPa l/s
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在全转速情况下的氩气气流量
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11 hPa l/s
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在全转速情况下的氢气气流量
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50 hPa l/s
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在全转速情况下的氦气气流量
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24 hPa l/s
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氮气压缩比
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> 1X108
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氩气压缩比
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> 1X108
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氦气压缩比
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6X104
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氢气压缩比
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4X103
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氮气最 大前级真空
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0.8 hPa
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根据 PNEUROP 的极限压力
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< 1X10-7 hPa
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重量
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62 kg
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冷却方法
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水
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冷却水耗量
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100 l/h
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冷却水温度
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15 – 25 °C
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接口
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E74, RS-485
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最 大允许磁场
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3.4 mT
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声压水平
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< 50 dB(A)
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HiPace® 2800 IT 适用领域: 离子注入机, 苛刻工艺
HiPace® 2800 IT尺寸
HiPace® 2800 IT 在售型号
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型号
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订货号
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HiPace 2800 IT
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PM P05 241
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HiPace 2800 IUT
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PM P05 246
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Pfeiffer Hipace 2800 IT :上海伯东真空产品事业部是德国 指定销售维修中心, 我司是国内较早代理 产品的公司, 100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务.
