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上海伯东德国磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1603 M

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伯东企业（上海）有限公司

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界{yl}的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有wq的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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ATH 1603 M，对氮气的抽速最高可达 1400 l/s，水冷。外部分子泵驱动电路。可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。核心科技是五轴控制全磁浮轴承，免维护，无需润滑，保证内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性，在高速运转过程中无摩擦，无磨损，低噪音低振动，可延长的使用寿命。
ATH 1603 M 多种配置可选满足不同需要：
1.两种接口：DN 200/250
2.两种密封方式：ISO-F/CF-F
3.另有可远程控制款供客户选择

ATH 1603 M 技术参数：

轴承	五轴控制全磁浮轴承
转速	39000 min-1
对氮气的压缩比	> 1 · 10 8
最大进气压力N2	1.7 hPa
对氮气的抽速	1400 l/s--1600 l/s
启动时间	< 6 min
极限真空度	< 6 · 10-9 hPa
重量	34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

ATH 1603 M 对不同气体的抽速：
全磁浮涡轮分子泵

ATH 1603 M 尺寸图：
全磁浮涡轮分子泵
全磁浮分子泵在售型号(中文资料)

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：

上海伯东: 罗女士   台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108    T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                       F: +886-03-567-0049
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