多晶硅,定向多晶硅配方工艺
1、制备高纯定向结晶多晶硅的设备及其制备方法
[简介]: 一种制备高纯定向结晶多晶硅的设备包括真空室、冷坩埚、主感应器、结晶装置、冷却器;冷坩埚安装在真空
室内,冷坩埚用紫铜制备成,其包括一圆筒形状的坩埚壁和一与坩埚壁分离的坩埚底,坩埚壁被分割成若干坩埚瓣,每一
个坩埚瓣...
制备高纯定向结晶多晶硅的设备及其制备方法
[简介]: 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置,它涉及一种多晶硅锭的制备装置,以解决现有多晶硅锭的制备是
在陶瓷或石墨套筒中,套筒内壁对多晶硅产生污染,导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上,拉杆设
置在冷...
冶金法生产太阳能多晶硅用定向凝固器及多晶硅生产方法
[简介]: 多晶硅的挡板晶圆60置放在支撑塔20的非生产沟槽中,用于热处理单晶硅晶圆。多晶硅较佳为随机定向多晶硅ROPSi,优选通过使用随机定向晶种例如CVD成长的硅而以Czochralski方法来成长。热炉管10的全硅热区可以包括...
挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅
[简介]: 本发明属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种多晶硅定向凝固装置,包括炉体,炉体内放置有石英坩埚,石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈,石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构,保温套筒...
定向凝固冶金法太阳能多晶硅提纯设备
[简介]: 一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法,涉及一种多晶硅的提纯方法。将工业硅粉放入盐酸中浸泡,然后用去离子水冲洗;将硅粉和铁粉放入石墨坩埚,再将石墨坩埚放入定向凝固炉中,关闭炉盖,抽真空至10Pa以下,通入气;打...
一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法
[简介]: 本发明涉及一种定向凝固法生长铸锭多晶硅的方法及其热场,包括熔化、长晶、退火和冷却过程;铸锭多晶热场中的保温腔是由顶板、侧壁、和底板三部分组成的;其中顶板位置固定,侧壁和底板可上下移动,根据长晶过程的不同阶段的需...