Pfeiffer HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证的安全性. HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）, 多种配件供客户选择.
涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证的安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
Pfeiffer HiPace 1200 技术规格
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型号
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F
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Ar 压缩比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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H2 压缩比
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6X103
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6X103
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6X103
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He 压缩比
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2X104
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2X104
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2X104
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N2 压缩比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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最 大预抽真空, N2 hPa
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2
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2
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2
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Ar全转速时气体流量hPa l/s
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11
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11
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6
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H2 全转速时气体流量hPa l/s
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>30
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>30
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>30
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He全转速时气体流量hPa l/s
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>30
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>30
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16
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N2 全转速时气体流量hPa l/s
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20
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20
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16
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操作电压 V AC
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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最 大电流 A
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10
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10
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10
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允许最 大磁场 mT
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6
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6
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6
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Ar抽速l/s
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1200
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1200
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1200
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H2 抽速l/s
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1100
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1100
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1100
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He 抽速 l/s
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1300
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1300
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1300
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N2 抽速l/s
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1250
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1250
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1250
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转速 ± 2 % rpm
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37800
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37800
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37800
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启动时间 min
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2.5
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2.5
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2.5
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极限真空 hPa
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1X10-7
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1X10-7
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5X10-10
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重量 kg
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29.5
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30.5
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40.9
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HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE
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