HiPace 2300
上海伯东销售维修 Pfeiffer HiPace 2300, 抽速最 高可达 2050 l/s 高性能. 分子泵通过保护等级 IP54 认证. 高抽速和气体吞吐量. 集成驱动电路, 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业. 通过分子泵控制器, 监控操作数据保证分子泵的安全性. 集成水冷系统. 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蚀款 C 和倒置款 U 供选择.
HiPace 2300 特性
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对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
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HiPace 2300 技术参数
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型号
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-K
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-F
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 CF-F
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Ar 压缩比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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H2 压缩比
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2X104
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2X104
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2X104
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He 压缩比
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3X105
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3X105
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3X105
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N2 压缩比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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最 大预抽真空, N2 hPa
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1.8
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1.8
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1.8
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Ar全转速时气体流量hPa l/s
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16
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16
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8
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H2 全转速时气体流量hPa l/s
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>50
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>50
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30
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He全转速时气体流量hPa l/s
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>30
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>30
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16
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N2 全转速时气体流量hPa l/s
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28
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28
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11
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操作电压 V AC
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90-265
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90-265
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90-265
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最 大电流 A
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10
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10
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10
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允许最 大磁场 mT
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7
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7
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7
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Ar抽速l/s
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1800
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1800
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1800
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H2 抽速l/s
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1850
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1850
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1850
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He 抽速 l/s
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2000
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2000
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2000
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N2 抽速l/s
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1900
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1900
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1900
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转速 ± 2 % rpm
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31500
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31500
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31500
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启动时间 min
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4
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4
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4
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极限真空 hPa
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1X10-7
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1X10-7
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5X10-10
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重量 kg
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35.5
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36.6
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51.8
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上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.
