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HiPace 400
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer HiPace 400, 紧凑设计, 抽速可达到 355 l/s 紧凑有力的, 进气法兰 DN 100, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 涡轮分子泵 HiPace 400 高抽速和最 大压缩比, 集成驱动电路, 适用于工业环境和实验研究. 通过控制器监控运算数据保证的安全性. 涡轮 HiPace 400 可选风冷或水冷.
HiPace 400 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
HiPace 400 技术参数
|
分子泵型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最 高启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 400 |
100 |
25 |
355 |
470 |
445 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
11.6 – 17.5 |
HiPace P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域
HiPace 400: 广泛应用于各个真空行业
镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯东客户一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
HiPace 400 尺寸图：
HiPace 400 目前在售型号:
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上海伯东 Pfeiffer 抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 运行时间可以达到 100,000 小时! 提供复合轴承和五轴全磁浮二大系列满足不同应用, 推荐搭配 和共同使用.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
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